Техническая команда · Kintek Solution
Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения.
Фет вышел из подъезда и увидал, что весь двор завален короткими почерневшими досками от магазинных ящиков. Эти осколки государственной тары, по зрелому размышлению, указывали на два безусловных факта: во-первых, в магазин завезли ранним утром неведомые продукты, и во-вторых, кто-то могучий уже успел разметать остатки ящиков по двору. Но Фета подобное, в общем-то, не интересовало. Жратва тем более, потому что для жратвы была мама, которая в свободное от работы время стерегла магазин, как и вся округа, в надежде приобрести что-нибудь вкусненькое. За те же деньги она являлась народу чаще в виде аппетитных кружков, напоминавших телефонный диск, — круглые жиринки обрамляли серо-коричневую мякоть, и Фет обычно выковыривал их вилкой, потому что они были липкими и слегка подванивали.
Представлены теоретические основы и результаты моделирования процесса формирования островковых тонких пленок в вакууме. Рассмотрены возможные группы методов получения островковых тонких пленок. Показаны зависимости латеральных размеров островковых тонких пленок в вакууме от технологических параметров нанесения DOI Наш сайт использует cookies.
